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混合等离子体设备模型

网络释义

  HPEM

混合等离子体设备模型HPEM)库什纳等开发的计算在反应室中的等离子体特性和两个附加的蒙特卡洛模拟进行预测轰击在Si衬底的等离子体物种的通量,角度和能量,...

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混合等离子体设备模型

Hybrid plasma device model

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