估算后发现，夹在沟槽栅（Trench Gate）之间的台面部分宽度（以下称为台面宽度）从3μm微细化至0.6μm后，在集电极（Collector）与发射极（Emitter）间电压相同的情况下...
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沟槽栅型双极性晶体管 CSTBTTM
沟槽栅IGBT trench gate IGBT
沟槽绝缘栅双极晶体管 TIGBT
光栅槽沟 grating groove
栅极沟槽 Gate trench
沟槽栅
Grooved grid
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至少一个置于所述栅沟槽中的导电保护电极；
At least one conductive shield electrode is disposed in the gate trench.
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