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化学汽相淀积 chemical vapor deposition ; CVD ; LTCVD ; Metal Organic Chemical Vapor Deposition
物理汽相淀积 physical vapor deposition ; PVD
真空化学汽相淀积 vacuum chemical vapor deposition ; v cvd ; vacuum actinic vapor deposition
低压化学汽相淀积 LPCVD ; low pressure chemical vapor deposition ; Low Pressure
汽相淀积系统 vapor deposition system
常压化学汽相淀积 atmospheric pressure chemical vapor deposition ; apcvd
汽相淀积速率 rate of vapor deposition
化学汽相淀积膜 chemical vapor deposition film
改进的化学汽相淀积 modified chemical vapor deposition ; mcvd
Traditional methods of manufacturing oxide films include thermal oxidation, chemical vapor phase deposition, metal-organic chemical vapor phase deposition, sol-gel method and so on.
传统制备氧化物薄膜的方法包括热氧化、化学汽相淀积、金属有机物化学汽相淀积、溶胶凝胶法等等。
参考来源 - 化学液相淀积法制备氧化铝薄膜·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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