...：PDF 更新时间：2009-6-29 纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势 摘要:模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺最大的..
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... 更新时间：2009-6-29 纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势 摘要:模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography, NIL)与传统光学光刻工艺最大的..
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模具是纳米压印光刻
The mold is nanoimprint lithography
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