暗场显微镜技术是利用斜射照明法阻挡透过标本细节的直射光，以反射光和衍射光来观察标本。在普通显微镜下直射光透过标本的时候，一部分光被吸收，另一部分光透射或折射，形成标本细节内部结构的真实投影。因此，在普通显微镜下所看到的是物体形态和结构。而在暗场显微镜下从侧面照射到物体的光束，绕射或反射造成物体外形的侧影。因此暗场显微镜下所看到的只是物体的轮廓或物体的运动。 普通显微镜下可以看到0.45um的细节，而暗场显微镜下竟能看到0.2-0.004um的极徽小物体。这个范围的物体叫亚粒子,因此暗场显微镜也可以称裂隙限外显微镜。