目前研发中的低 介电常数材料有非常多种，依沉积方式可分为旋转涂布法(spin-on)及化学气相 沉积(CVD)两大类5，而在此我们从蚀刻的角度来将其分为无机类与有机类两大 种，如表一所示。
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1 旋转涂布2蚀刻法 旋转涂布2蚀刻法 ( Spin coating2etching meth2 od) , 简称为旋转涂布法 ( Spin coating method) , 有 时也称之为颜料分散法 (pigment dispersed method) , 是当前彩色滤光片主要的制作方式。
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