...到20片／h(200 mm圆片)。 电子束光刻进展和研发较快的是传统电子束光刻、低能电子束光刻、限角度散射投影电子束光刻(SCALPEL)和扫描探针电子束PCB光刻技术(SPL)。
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散射投影电子束光刻
Scatter projected electron beam lithography
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