抗反射铬膜图罩(Antireflective Cr Mask) 以光学照射定义图罩上阻剂图案时，为降低图罩上铬膜反射 率，提高图罩上阻剂解像度，可在铬膜上增加一层氧化层为 抗反射层，常用...
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抗反射铬膜图罩
Anti-reflective chrome film mask
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