4 抗反射层涂布（ARC Deposition） 抗反射层的涂布技术： 以化学蒸镀法（Chemical Vapor Deposition，简称 CVD）最为常用。
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抗反射层涂布
Anti-reflection coating
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林教授告诉CNN说：“抗反射层要求涂布多层，这比典型的单层要复杂些。”
Professor Lin told CNN: "the anti-reflective coating requires multi-layer coatings which are slightly more complex than the typical single-layer ones."
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