举例来说，在钨的沉积过程中若有过多含氧污染物(譬如水气或氧气)，则与六氟化钨(WF6)反应行成氟氧化钨(WOFx) ，而这个反应生成物将大大降低钨本身的电阻率[8]。
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成氟氧化钨
Tungsten oxyfluoride
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