悬浮区熔单晶炉(float zone crystal growth furnace) 用于悬浮区熔提纯与悬浮单晶生长的装置。主要用于区熔硅的提纯和单晶生长，已用于工业生产半导体材料。
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悬浮区熔单晶炉
Suspension zone melting single crystal furnace
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