...蔡健忠 范振豪 陈仁杰 林培豪 明新科技大学光电系统工程系 摘要 本文借由结合微阵列式热致动器（Micro Array Thermal Actuator，MATA）做为主要驱动牵制式抬升 结构的动力，并设计出单支弹簧来牵制微面镜倾斜，且由改变弹簧结构的节数、节距及...
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微阵列式热致动器
Microarray thermal actuator
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