如今工程师们设计的系统和产品中常常包含微机电系统感测器（MEMS sensor）等关键元件，特别是MEMS陀螺仪。但种类繁多的新一代应用对低功率、小尺寸、环境耐受性及低成本等提出了越来越高的要求。
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微机电系统感测器
Micro-electromechanical system sensor
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