Micro-Electro-Mechanical Systems
上一篇: 微操作机器人系统的研究开发 微机械电气系统(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)这一前沿技术主要涵盖以下研究专题：①集成化微型仪器与传感器；②微加工与测试技术；③微操作系统。
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文章简介：微机械电气系统(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)这一前沿技术主要涵盖以下研究专题：①集成化微型仪器与传感器；②微加工与测试技术；③微操作系统。
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