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徐端颐
Xu Duanyi
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徐端颐，清华大学教授，博士生导师，长期从事光信息存储及光学微加工技术的研究。1960年毕业于清华大学留校任教，在利用超精细聚焦光束进行精密加工研究方面，完成多种型号的“分步重复照相机”，“自动对准投影光刻机”、“紫外曝光铬版精缩机”集成制造关键设备的研制。
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