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形成三氯化硅

网络释义

  TCS

《微电子材料与制程》教材 - docin.com豆丁网 ochlorination)-将冶金级的多晶块置于流床(Fluidized-bed)反应器中，通入 盐酸气以形成三氯化矽(Trichlosilane, TCS)，如下式反应： (3-1) 7 y Y( M! w- o2 J 1 s (2) 蒸馏(Distill

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  Trichlosilane

《微电子材料与制程》教材 - docin.com豆丁网 ochlorination)-将冶金级的多晶块置于流床(Fluidized-bed)反应器中，通入 盐酸气以形成三氯化矽(Trichlosilane, TCS)，如下式反应： (3-1) 7 y Y( M! w- o2 J 1 s (2) 蒸馏(Distill

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有道翻译

形成三氯化硅

Forming silicon trichloride

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