...离子体辅助CVD法（PACVD）、脉冲法、激光CVD法 （LCVD）、液气相CVD法、自热式CVD法、快速定向扩散法、强制气流热梯度法（FCVD） 等。他们的共同优点就是，可以任意控制薄膜的组成，而且可以在低于薄膜组成物质的 熔点温度下制备薄膜。
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强制气流热梯度法
Forced-flow thermal gradient method
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