底部抗反射涂层：底部抗反射涂层（BARC）是用来减小 底部抗反射涂层 来自光刻胶下面反射层的光反射。
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a、底部抗反射涂层(BARC,Bottom Anti-Reflective Coating)。将抗反射涂层涂覆在光刻胶的底部来削减底部光的反射。
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涂布底部抗反射涂层 Back Anti-Reflection Coat
底部抗反射涂层
Bottom anti-reflective coating
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