...半导体产业薄膜制程，在以前并未有平坦化技术所以在制程裡良率一直不 好，为了让产品良率以及提升产率平坦化制程(Planarization)是缺少不了的， 在许多制程中平坦化制程将分離出來自行成立一个部门，此部门就是专解决薄 膜表面问题。
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平坦化制程
Flatten the process
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