MOCVD设备的可靠性主要从平均故障间隔时间 (MTBF)、平均清洁间隔时间 (MTBC)、平均修复时间 (MTTR)三个方面考量，同时设备间匹配性和线上工艺控制是量产的关键。
基于8个网页-相关网页
平均清洁间隔时间
Average cleaning interval
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动