本文进一步根据介电电泳的原理,分别设计了常规介电电泳芯片(cDEP Chip)、行波介电电泳芯片(TWD Chip)、电旋转芯片(ROT Chip)的微电极图形,并利用C-MEMS工艺成功制备得相应的导电C-MEMS微电极。
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常规介电电泳芯片
Conventional dielectrophoresis chip
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