相对于其他的MEMS器件及系统研究，射频微电子机械系统(RF MEMS)是近年出现的新研究领域，所谓RF MEMS就是利用MEMS技术制作各种用于无线通讯的射频器件或系统。
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射频(RF) MEMS开关的模拟、制备和力学分析_论文 ---------------------94 ii 摘要 摘 要 由于相对于传统的固体开关，射频微电子机械系统(Radio Frequency Microelectromechanical Systems, RF MEMS)开关具有很多优点，已引起了广泛的关注和研究兴趣。本文分为以下五部分。 第一部分，本文研究的电容型R
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