...和测量装置，通过对放射频放电电压电流以及其相位角的测定，算出放电算的总阻抗，结合放电管的等效电路，对容性耦合射频（CCRF）激励激光放电特性进行研究，得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线，以及等离子体电阻，容抗与气体压器，放电电流...
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容性耦合射频
Capacitatively coupled radio frequency
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