Patterned Sapphire Substrate
Shen等人[10]利用图形表面粗化——图形蓝宝石衬底（Patterned Sapphire Substrate，PSS）制作GaN LED，其采用双面PSS其光输出功率比采用单面PSS和普通衬底的分别提高了23.7%和5...
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而图形蓝宝石衬底( PSS, patterned sapphiresubstrate) 技术克服了这些问题,在蓝宝石衬 底上生长作为干法刻蚀的掩膜层,用光刻工艺制作出掩膜图 光 电 子...
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