2.2化学蒸镀法化学蒸镀法是以液态的六甲苯二醚（HMDSO）、四甲基二硅烷（TMDSO）等有机硅化合物或气态的硅烷为原料，在真空室内通入作为载体的氦气和起氧化作用的氧气或氧化二氮（N2O），用高频电磁波（一般采用...
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短语
二苯基四甲基二硅烷
Tetramethyl-1,2-diphenyldisilane
四甲基二硅氧烷
TMDSO
;
Tetramethyldisiloxane
;
SITOA
;
DATM
四甲基二硅氮烷
Tetramethyldisilazane
;
N--1,1-dimethylsilylamine
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TMDS
;
Bisamine
四甲基二氯二硅烷
Tetramethyl dichlorodisilane
环四聚二甲基硅氧烷
Cyclotetrasiloxane
四甲基二乙氧基二硅烷
DIMETHYLPHENYLSILANOL
四甲基二氢二硅氧烷
Siloxane HSi