作 者 杨军(Jun Yang);吕国强(Guo-Qiang Lv);邓光晟(Guang-Sheng Deng);黎泽伦(Ze-Lun Li); 胡跃辉 ( Yao-Hui Hu );谢松廷(Song-Ting Xie) 刊 名 真空科学与技术学报
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吕国强
Lv Guoqiang
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