浅谈洁净室 物分为酸(Molecular Acids, MA)、碱(Molecular Bases, MB)、可凝结物(Molecular Condensables, MC)和掺杂 物(Molecular Dopants, MD)四大类，其定义如下： MA：包括盐酸、硝
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可凝结物
Condensable substance
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