反应脉冲激光沉积(reactive pulsed laser deposition)
浅谈纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜及其发光性质研究 -建筑科学与工程、电力工业-论文中国 本论文选择纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜为研究对象,研究了纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜的制备工艺、结构和发光特性。我们利用反应脉冲激光沉积(reactive pulsed laser deposition,RPLD)法继而高温退火成功制备得到纳晶硅镶嵌二氧化硅薄膜,并在室温下观察到了很强的纳晶硅的特征光致发光。纳晶
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反应脉冲激光沉积(reactive pulsed laser deposition)
reactive pulsed laser deposition
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