因此，原子层气相沉积(Atomic Layer Deposition，ALD)技术将成为卜一代芯片制造的主流技术【” 下载全文 更多同类文献 CAJ格式全文 PDF格...
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原子层化学气相沉积 ALCVD ; Atomic Layer CVD ; Atomic Layer Chemical Vapor Deposition
或原子层化学气相沉积 Atomic Layer Chemical Vapor Deposition
原子层气相沉积
Atomic layer vapor deposition
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