单源化学气相沉积（SSCVD）是制备Zn0薄膜的一种新型的重要的化学方法。 与传统的CVD工艺将反应物由气相引入到真空室发生反应形成薄膜不同，它是以 固相有机...
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单源化学气相沉积法 SSCVD ; Single source chemical vapor deposition
单源化学气相沉积
Single source chemical vapor deposition
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