化学辅助机械抛光法(CAMPP) 是一种将机 械抛光法与化学抛光法相结合以提高抛光效率的抛 光工艺,它是利用机械研磨时表面晶粒产生的微裂 纹中的新鲜表面与化学...
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化学辅助机械抛光法
Chemical assisted mechanical polishing
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