（2）化学气相合成法（Chemical Vapor Synthesis）是惰性气体冷凝法的一种变 形，即可制备纳米非氧化物粉体SiC、Si 3 N 4 ，也可制备纳米氧化物粉体ZrO 2 、Y 2 O 3 等。
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化学气相合成法
Chemical vapor synthesis
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