薄膜厚埋层 SOI材料的新制备技术3 关键词 : 薄膜厚埋层 SOI 材料; 注氧键合技术; 剖面透射电镜 [gap=8304]Key words : thin film/ thick BOX SOI; SIMOX wafer bonding technology; XTEM
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剖面透射电镜
Profile transmission electron microscope
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报道了用氦离子注入智能剥离形成SOI结构硅片的新技术，介绍了这种技术的工艺和用剖面透射电镜研究的结果。
A new technology of smart cut using helium ion implantation to form SOI was presented. The process of smart cut was introduced and research results was demonstrated by means of XTEM in this paper.
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