利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头。
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利用压电聚偏氟乙烯
Using piezoelectric polyvinylidene fluoride
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