课题研制了常压射频喷枪式冷等离子体(APPJ)和浸入式冷等离子体设备(APUP)，分别对高温烘烤后光刻胶和硅进行了刻蚀研究。
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冷等离子体设备
Cold plasma equipment
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为了研究生物质颗粒在等离子体快速热解液化设备水平携带床热解管中的运动，设计制造了水平携带床冷态模拟装置。
A set of transparent cold model was designed for studying the movements of biomass particulate in horizontal entrained bed of the plasma heated biomass fast pyrolysis liquefaction prototype.
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