...法，是以一压电块材作为基板，以机电或化学加工方式做其感测区域成为压电薄板，再利用指叉状电极结构(Inter-digital transducer，IDT)使其产生平板挠曲波。本发明更可进一步以同一制程或接合方式将微流道整合在同一具压电特性的基板上。
基于4个网页-相关网页
...是以一压电块材作为基板，以机电或化学加工方式做其感测区域成为压电薄板，再利用指叉状电极结构(Inter-digitaltransducer，IDT)使其产生平板挠曲波。本发明更可进一步以同一制程或接合方式将微流道整合在同一具压电特性的基板上。
基于2个网页-相关网页