制程中,采用SU-8 厚膜光阻以微影制程在矽晶圆上 制作微型混合器之母模,再以聚二甲基矽氧烷(polydimethysiloxane,PDMS)翻模制 作微型混合器,接合流道上盖,即完成微型混合器,接上矽胶管,再加上两个微量式 注射帮浦构成完整...
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再以聚二甲基矽氧烷
And then polydimethylsiloxane
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