...体器件的层间介质层的沉积工序中，包括以下步骤：向沉积反应腔内通入初始氧气；向沉积反应腔内通入初始八甲基环化四硅氧烷(OMCTS)；开启功率电源，进行黑金刚石(BD)层..
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八甲基环化四硅氧烷
octamethylcyclotetrasiloxane
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