optical aligner
... aligner feeder 整列进料机 Wafer Aligner 真空密着曝光 optical aligner 光学对准器 ; 光对准曝光器 ...
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本文首先对准相位匹配技术和光学参量震荡器的理论进行了阐述和分析。
In this dissertation, the theory of quasi-phase-matched technology and optical parametric oscillation was expatiated and studied first.
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