...微电子机械技术是以微电子技术和微加工技术为基础的一种新技术,分为体微机械技术、表面微机械技术和X射线深层光刻电铸成型(LIGA)技术体微机械技术加工对象以体硅单晶为主,加工厚度几十至数百微米,关键技术是腐蚀技术和键合技术,优点是设备和工艺简单,但可...
基于66个网页-相关网页
光刻电铸成型
Photoetching electroforming
以上为机器翻译结果,长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动