...2.S : SiNx (氮矽化合物,绝缘层)I : a-Si (非结晶矽,通道层)N : N+ (高浓度磷的矽)降低界面电位差,使成为欧姆接触(Omic contact)3.镀上钛铝钛合金(source,drain)厚度 500/1800/1000A4.
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使成为欧姆接触
Make ohm contact
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