2.4.2 介观压阻效应（MESO-PIEZORESISTIVE EFFECTS） 21-24 第三章 光子晶体 24-35
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...值加速度计；介观压阻效应；量子阱薄膜；GaAs微结构 [gap=1020]Keywords: high g accelerometer; Meso-piezoresistance effect; Thin film of quantum well; GaAs microstructure ..
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This study mainly innovation reflects in: breakthrough the traditional Power electric coupling principle, using resonant tunneling film as sensitive components, designed the accelerometer structure based on "the mesoscopic piezoresistive effect" theory.
本文研究创新点主要体现在:突破了传统的力电耦合工作原理,采用共振隧穿薄膜作为敏感元件,设计出了基于“介观压阻效应”原理的加速度计结构。
参考来源 - 介观压阻型硅锗加速度计的仿真与设计·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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