在IC器件氧化层介质击穿物理模型的基础上,讨论人体带电放电模型(HBMESD)中波动电压加于氧化层上时绝缘介质氧化层的击穿机理。
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人体带电放电模型
Human charged discharge model
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这三种基本静电模型是:人体放电模型、带电器件放电模型、机器放电模型。
These three primary models of ESD events are Human Body Model (HBM), Machine Model (MM), and Charged Device Model (CDM).
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