在雷射光束固定射角下，被测物件的位 移会造成反射位置变化，由光学二极体阵列 (Photodiode Array)或位置敏感元件(PSD)作为 反射光点位置的感测。
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光二极体阵列侦测器 diode array detector
二极体阵列
Diode array
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请参照图七a，具有个别微透镜元件710 - A之微透镜阵列可用以将光线聚焦在光电二极体上。
Referring to Figure 7a, a micro-lens array having an array of individual lens elements 710-a May be used to focus light into the photodiodes.
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