Automatic Optical Inspection
2D 或3D 微型元件的尺寸检测技术，乃以自动化光学检测（AOI, Automatic Optical Inspection）为主，例如影像处理量测、投射点、线或结构光之三角量测 法、相位移干涉量测法等。
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2D 或3D 微型元件的尺寸检测技术，乃以自动化光学检测（AOI, Automatic Optical Inspection）为主，例如影像处理量测、投射点、线或结构光之三角量测 法、相位移干涉量测法等。
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