...溅镀法是由于欲溅镀化合物薄膜时，将反应气体混合，靶材经离子 轰击而溅出的原子，将与电浆内因解离反应(Dissociation Reaction)所形成的反应 气体原子形成化合物，以达到控制化合物薄膜的组成与特性。
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与电浆内因解离反应
Dissociation reaction with plasma intrinsic factors
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