别的,不能用手触摸掩膜板;灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(Mask Room),在存取掩膜板时室内最多连结2人。因为掩膜板在全般打造工艺中的职位地方非常重要。
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不准进出掩膜板室
No entry or exit of the mask panel room
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