... 投影光学系统：projection optics 投影对准曝光器：projection aligner 投料墙：gable wall ...
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透镜投影对准曝光器 lens projection aligner
步进式投影对准曝光器 stepping projection aligner
镜面投影对准曝光器 mirror projection aligner
扫描型投影对准曝光器 scanning projection aligner
投影对准曝光器
Align the projection with the exposure device
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