无显影气相光刻(Development Free Vapor Photolithography)
由于无显影气相光刻（DFVP）具有分辨率高、针孔密度低、光刻流程短、设备简单、成本低等优点，因此将其应用于晶闸管元件的生产具有非常重要的实际意义．本文...
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