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cluster tools

  • 集束型设备

网络释义专业释义

  束型设备

[⑤] 集束型设备Cluster Tools):半导体产业中要求制造设备对大面积晶圆的操作具有高真空、高洁度等特性。

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  组合设备

为了提高晶圆制造的生产率、成品率和节省厂房空间,晶圆制造过程越来越多地应用自动组合设备(Cluster tools)。它们广泛应用于蚀刻、光刻和化学气相沉积等加工过程中[1-5]。

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  制造设备

集束型晶圆制造设备(cluster tools)是半导体企业广泛采用的晶圆制造设备,其性能直接影响着企业整体的产能指标。

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  制程设备

基于要减少晶圆表面污染、降低 设备成本及降低生产周期以提升产能等的因素,集束 型制程设备(Cluster Tools)的运用,将成为半导体前段 制程设备主要发展趋势。集束型设备中机械手臂扮演 着重要的角色,它负责晶圆在各个模块间传输的动 作。

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  • 集束型装备 - 引用次数:1

    参考来源 - 有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
    自动组合装置

·2,447,543篇论文数据,部分数据来源于NoteExpress

双语例句权威例句

  • Cluster tools have come a long way since we first started installing Linux clusters in 1999.

    自从1999年Linux集群首次出现以来,集群工具已经有了长足的进步。

    youdao

  • Cluster tools are the critical equipment for semiconductor manufacture, and usually, the bottleneck equipment.

    半导体制造中的自动组合装置半导体制造关键设备瓶颈设备。

    youdao

  • The manufacture process involves the participation of over hundred procedures and many key equipment, which includes so-called cluster tools.

    半导体制造中的自动组合装置是半导体制造关键设备瓶颈设备。

    youdao

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- 来自原声例句
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